　半導体／電子部品やスマートデバイスなどの分野では、近年の高性能化の進展に伴い、光学ガラス、化学強化ガラス、結晶化ガラス、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、合成石英、ファインセラミックスなどの表面品質に対して、より高精度な研磨性能が求められている。そこで、ダイヤモンド固定砥粒パッドの新たなラインアップとしてTOPX D9を開発した。

　TOPX D9は、砥粒の保持を最適化することによって、多様なワークピースの表面品質に対して高精度な研磨性能を実現する。さらに、ダイヤモンド本来の硬度を最大限に生かすとともに、砥粒の保持を最適化することで、摩擦／摩耗特性を向上させた。これにより長寿命化を実現し、ランニングコストの低減に貢献する。

　加えて、独自技術を採用した固定砥粒パッドによって、遊離砥粒を用いた研磨方法と比較して、研磨効率を向上させるとともに廃液の発生を削減し、環境負荷低減にも役立つ。

ダイヤモンド固定砥粒パッド「TOPX D9」［クリックで拡大］出所：バンドー化学

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