東京エレクトロン デバイスは、生産設備の稼働監視AIを自動で生成するソフトウェア「CX-W」を発売した。個別の学習データがなくても、PCにインストールするだけで監視用AIを生成し、設備のリアルタイム監視ができる。
東京エレクトロン デバイスは2019年8月6日、生産設備の稼働監視AI(人工知能)を自動で生成するソフトウェア「CX-W」を発売した。価格は個別見積もりとなる。
CX-Wは、製造装置が通常稼働している状態のデータを取り込んで、その数値分布や相関関係を学習し、装置の種類や特性などに合わせた監視用AIを装置ごとに自動で生成する。個別の学習データは不要で、監視用のPCにインストールするだけで監視用AIの生成と設備のリアルタイム監視ができる。
稼働監視中、製造装置の状態に変化が生じた場合は原因となったデータの種類と変化の程度が警告指数としてPC上に表示されるため、予知保全にも活用できる。
CX-Wの動作環境は、CPUがArm系あるいはx86系、OSはWindowsかLinux(32ビット、64ビット)、メモリは2Gバイト以上を推奨。認証用USBを挿入するためのUSBポートを1つ備えている。
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