地味にスゴイ！ プリント基板の実装品質を左右するメタルマスク：ママさん設計者の「モノづくり放浪記」（6）（5/9 ページ）

[藤崎 淳子／Material工房・テクノフレキス，MONOist]

エッチング工程

　印刷工程を後にして、さらに上の階の現場にお邪魔してみます。ここは、独特な香り漂うエッチング工程です。同社におけるメタルマスク製造では、このエッチング工程も欠かせないものです。

　まず、こちらを御覧いただきましょう。これはメタルマスクのサンプルですが、局部的に段差が設けられています。

メタルマスクのサンプル

　赤いラインで囲んだ部分は、厚さ170μm（0.17mm）。

厚さ170μm（0.17mm）の部分

　青いラインで囲んだ部分は、厚さ150μm（0.15mm）。それ以外の部分は全て厚さ100μm（0.1mm）となります。

厚さ150μm（0.15mm）の部分

　マーキングのフィルムを外してみると、かすかな段差が確認できますね。

よく見ると、段差が……

　これは、2段ハーフエッチング加工です。1度めに170μmから150μmに落とし、2度めに150μmから100μmへと、2度ハーフエッチングしていることになります。

　同社のメタルマスク製造におけるハーフエッチングの出番は、1つのメタルマスクの中にクリームはんだの塗布量を減らしたい箇所がある場合、その部分の厚みを除去する時です。同社では、ハーフエッチング部の位置精度は±0.05mm、板厚精度は±0.01mmという繊細なコントロールでこれを行っています。化学的に処理するので、原理的には加工後のゆがみや変形の心配がなく、バリやカエリも発生しません。上記サンプルはハーフエッチングですが、処理時間を長く取ることによって貫通することも可能です。いずれも手順はさきほどのシルク版の製造手順とほぼ同じです。