　同調査では、材料別、微細加工技術別、デバイス分類別、システム（需要分野）別、IDM・ファウンドリー別の動向、研究機関の動向、将来展望などを分析。MEMSデバイスの製造は、自社で設計や製造、販売まで担う垂直統合型メーカーのIDM（Integrated Device Manufacturer）と、受託製造に特化したファウンドリーに大きく分けられる。

　ファウンドリーを除くIDMを対象とした2022年のMEMSデバイス世界市場規模は、メーカー出荷金額ベースで1兆5205億円になる見込みだ。分類別にみると、スマートフォンの無線通信などで使われる高周波（RF）デバイスが全体の23.9％を占めており、次に自動車のエンジンや血圧計などに使われる圧力センサーが13.9％、電子機器用の小型マイクロフォンが10.5％となっている。

　同社は注目すべき動向として、ナノファイバーを束ねた「ヒモ」状の材料を、軽量かつ頑丈な工業製品や人工生体組織の材料として利用する研究を挙げている。この研究では、MEMS技術であるマイクロ流体デバイスの流路中でナノファイバーの方向をコントロールし、そのままヒモとして束ねる方法が編み出された。

　この方法で得られたナノファイバーには異方性があり、同じナノファイバーから作られたヒモの中で電気伝導度の異方性を約30倍変化できた。同技術は、あらゆる繊維状材料へ適用することも可能だ。電気電子材料や生体内の複雑なヒモ状組織の作製など、さまざまな応用が期待できるとしている。

⇒その他の「組み込み開発ニュース」の記事はこちら

超音波センサーの感度が20倍に、OKIのLEDプリンタ技術が単結晶薄膜と融合
OKIとKRYSTALは、超音波センサーなどの圧電MEMSデバイスの性能の飛躍的な向上を可能にする「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」の試作に成功したと発表。同ウエハーを用いてMEMS超音波センサーを試作したところ、現行の一般的なMEMS超音波センサーと比べて20倍以上の感度が得られたという。
AI学習機能を組み込んだ6軸MEMSモーションセンサーを発表
STMicroelectronicsは、ISPUを搭載したMEMSモーションセンサー「ISM330ISN」を発表した。エッジ側のセンサー内部におけるAI学習を可能にする。バッテリー駆動の資産追跡機器、ロボットなどへの利用を見込む。
コンチネンタルが採用するAEyeの“アダプティブLiDAR”、交通インフラにも展開
LiDARスタートアップとして注目されているAEye（エーアイ）の日本法人が、独自のLiDARプラットフォーム「4Sight」の技術の独自性や事業展開について説明。コンチネンタルに採用されている車載向けに加えて、交通インフラや産業機器など非車載向けにも展開する方針である。
海中光無線通信で1Gbps×100mを実証、ALANが水中ドローンを岸や船から解放する
ALANコンソーシアムが、2019年度から3カ年で取り組みを進めてきた水中光無線技術の開発成果を報告。レーザー光を用いる水中光無線通信技術では、海中での実証実験で1Gbps×100mを達成しており、水中LiDARについてもMEMSデバイスの採用により初期モデルと比べて容量55％削減、計測点数20倍などを達成している。
オムロンが半導体・MEMS事業をミネベアミツミに譲渡、滋賀県野洲市の関連工場も
オムロンは2021年6月30日、半導体・MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）工場およびMEMS開発・生産機能を、ミネベアミツミの子会社であるミツミ電機に譲渡することを発表した。株式譲渡は、10月1日に完了する予定。
三菱電機がMEMS式LiDARを開発、10cm角サイズで水平視野角は120度
三菱電機は、水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMS（微小電子機械システム）ミラーを搭載し、小型で広い水平視野角を持つ「MEMS式車載LiDAR（ライダー）」を開発した。今後は、さらなる小型化や垂直視野角の拡大を進め、2025年度以降の実用化を目指す。