半導体製造装置の生産リードタイム短縮へ、ソディックが高速ナノマシニングセンタ：工作機械

ソディックは、リニアモーター駆動のナノマシニングセンタ「AZ275nS（ナノエス）」を開発したことを発表した。医療分野、半導体製造装置関連、光学分野、航空宇宙分野、データセンター関連の製品において、生産リードタイム短縮に貢献する。

[長沢正博，MONOist]

　ソディックは2026年9月1日、リニアモーター駆動のナノマシニングセンタ「AZ275nS（ナノエス）」を開発したことを発表した。2027年1月より国内受注を開始し、安全規格取得後に海外受注も順次開始する。医療分野、半導体製造装置関連、光学分野、航空宇宙分野、データセンター関連の製品において、高速加工により生産リードタイム短縮に貢献する。なお、実機を「JIMTOF2026」（2026年10月26〜31日、東京ビッグサイト）に出展する。生産は年間12台を目標としている。

ナノマシニングセンタ「AZ275nS」 出所：ソディック

　「AZ275nS」は、従来機種の「AZ275nano」の特徴である微細、高速、高精度加工をさらに進化させた。従来機と比較し、各軸のモータ定格出力が約1.9倍に向上。これにより、さらなる高加速度運動が可能となり、リードタイムの短縮に寄与する。

　焼ばめ方式による高い工具保持剛性と、エアタービン駆動による優れた冷却性能を備えたエアスピンドルを新たにラインアップに追加。従来のモータ駆動による回転数可変式の高い汎用性を備えたエアスピンドルと合わせて、用途に適した選択が可能になる。CMOSカメラ式工具測定器を選択することで正確な工具長が測定でき、さらなる高精度加工が可能になる。19型LCDカラー液晶ディスプレイの採用により視認性も向上した。

　機械の主要部は、BOX構造の鋳物で構成され、全方向からの高剛性を実現。各軸可動部の主要構造にはセラミック部品を採用し、高剛性と軽量を両立している。

　X、Y軸には、メインの軸と同質量で反対方向に移動するカウンター軸を搭載し、高速運動時の振動を相殺する。高速運動による振動を除去し、高速でありながら高品位面質の加工を可能にしている。

　12万rpmの高速回転スピンドルでは、工具半径1〜0.005mmの小径工具が使用でき、微細な形状加工が可能だ。

BOX構造の鋳物（左）とX、Y軸にはカウンター軸を搭載（右） 出所：ソディック

主な仕様
各軸ストローク（X×Y×Z）	300×250×100mm
加工範囲（X×Y×Z）	275×150×100mm
スピンドル回転数（標準仕様）	2万〜12万rpm
ツールホルダー形式	ダイレクトチャック方式
工具収納本数	30本
最大工具長	32mm
最大工具径	2.0mm
工具シャンク径	4.0mm（h4）
最大積載質量	5kg
機械本体寸法（幅×奥行×高さ）	1600×3600×2200mm（電源含む）
機械据付寸法（幅×奥行）	3050×5300mm（メンテナンススペース含む）
機械総質量	6100kg
エアー供給圧力	0.7〜0.8MPa
エアー消費量（標準仕様）	400NL/min
総電気容量	25kVA
最小移動単位	0.000001mm
表示形式	19インチLCDカラー液晶（TFT）

⇒その他の「工作機械」の記事はこちら