人型ロボットがウエハーを搬送、AMR＆昇降機能で作業拡大：SEMICON Japan 2025
THKインテックスは「SEMICON Japan 2025」において、人型ロボットを搭載した「NX-Mobile」によるデモンストレーションを披露した。
THKインテックスは「SEMICON Japan 2025」（2025年12月17〜19日、東京ビッグサイト）において、カワダロボティクスの人型ロボット「NEXTAGE」をAMR（自律搬送型ロボット）に搭載した「NX-Mobile」によるデモンストレーションを披露した。
NEXTAGEは人との協働を前提に開発された人型ロボットだ。6軸の双腕を持ち、ビジョンシステムやソフトウェアが1つにパッケージになっている。既に10年以上の実績を持つ。
従来はNEXTAGEをAGV（無人搬送車）に搭載したデモなどを行っていたが、ルート設定には誘導体となるマーカーの設置が必要だった。AMRなら、SLAM（Simultaneous Localization And Mapping）方式で自己位置推定を行うため誘導体は必要なく、自由度の高いレイアウトが可能になる。エア機器も内部に搭載しており、常時吸着ができる。昇降機能も付いているため、異なる高さでの作業も容易になった。
デモ自体は、クリーンルーム内でFOUP（Front Opening Unified Pod）を開け、ウエハーを格納したカセットを取り出し、荷台に載せて検査機まで搬送する作業を模している。「新しい半導体工場ではOHT（天井走行式無人搬送車）が導入され、こういった作業が自動化されているが、古い半導体工場ではまだ人が行っているケースもある。また、OHTを導入すると、工場レイアウトの変更が難しくなる。NX-MobileはAMRを使用しているため、ルート設定も容易で汎用性も高い」（THKインテックスの説明員）
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