8インチウエハーに対応する電子部品製造向けプロキシミティ露光機シリーズ：FAニュース

ウシオライティングは、電子部品製造向けのプロキシミティ露光機「PXS」シリーズを2023年8月から発売する。解像力3μmL/Sかつ、6インチまたは、8インチウエハーに対応する。

[MONOist]

　ウシオライティングは2023年6月27日、電子部品製造向けのプロキシミティ露光機「PXS」シリーズを、同年8月に発売すると発表した。「PXS-102068」「PXS-051646」をラインアップし、年間の販売目標を50台とする。

　PXSシリーズは、緻密な回路などを露光するプロセスにおいて、マスクとワークを非接触で近接させて露光するプロキシミティ方式を採用。解像力3μmL/Sかつ、6インチまたは、8インチウエハーに対応する。プロキシミティ方式の解像力の低さや、大型ワークへの対応が難しいという課題を解決している。

プロキシミティ露光機「PXS」シリーズ 出所：ウシオライティング

　PXS-102068は、低ランニングコストと導入しやすい価格により、総保有コストを低減する。スループットは、150WPH（2ndアライメント）以上を達成。オートアライメントおよび搬送機能を搭載しており、作業者の熟練度に左右されずに安定した品質を保持でき、自動化された量産ラインに組み込める。また、オプションとして、新方式の裏面アライメントを準備する。

　LED、水晶振動子、SAWフィルター、パワー半導体などの製造工程に対応する。

「PXS」シリーズの主な仕様［クリックで拡大］ 出所：ウシオライティング

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