半導体製造用ガス精製装置の新棟が平塚で稼働開始、生産能力を1.6倍に強化：工場ニュース

エア・ウォーター・メカトロニクスは、平塚工場内に半導体製造プロセス用ガス精製装置の新棟工場を建設し、稼働を開始した。大型ガス精製装置の内製化と納期の短縮を推進し、生産能力を現行比で1.6倍に強化する。

[MONOist]

　エア・ウォーター・メカトロニクスは2023年4月18日、半導体製造プロセス用ガス精製装置の新棟工場の稼働を開始した。平塚工場内（神奈川県平塚市）に鉄骨造平屋建て（一部3階）、延床面積820m²の新棟を投資額約4億円で建設した。

新棟工場の外観 出所：エア・ウォーター・メカトロニクス

　半導体製造設備は、需要の増加とともに大型化する傾向にある。そのため同社は、ガス精製装置の生産体制を構築するべく、新棟の建設を進めていた。新棟の稼働により大型ガス精製装置の内製化と納期の短縮が可能となり、生産能力は現行比で1.6倍となる。

大流量タイプのガス精製装置 出所：エア・ウォーター・メカトロニクス

　ガス精製装置は、半導体の製造プロセスに必要な材料ガスや不活性ガスを超高純度に精製する装置。同社の装置は、独自に開発した触媒や透過膜を搭載し、多様なガス種や仕様に応じた最適な装置の設計と製作ができる強みがある。

　同年4月には、エア・ウォーターのエレクトロニクス関連事業の機器装置分野などが移管、集約され、平塚工場では各種機器のデモやサンプルテストに対応したテクノロジーセンターを併設する。今後は、半導体製造に関連した各種機器装置の開発、製造、販売を手掛ける戦略拠点として活用し、拡大を続ける半導体市場の需要の取り込みを図る。

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