最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産能力を1.3倍以上増強：工場ニュース

ウシオ電機は、御殿場事業所の最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置「UX-5」シリーズの生産スペースを拡張する。総額15億円を投資し、2022年度上期中には生産能力を1.3倍以上高めて生産を開始する。

[MONOist]

　ウシオ電機は2021年5月11日、静岡県御殿場市の事業所について、最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置「UX-5」シリーズの生産スペースを拡張すると発表した。

　投資総額は15億円になる予定で、2021年度上期にレイアウトの変更、生産設備の増強を開始し、2022年度上期中に生産能力を1.3倍以上高めて生産を開始する。なお、同社は2019年にも、投影露光装置の生産能力を2倍に増強している。

左：御殿場事業所、右：分割投影露光装置「UX-5」シリーズ 出典：ウシオ電機

　生産現場でのIoT（モノのインターネット）の活用が進むにつれ、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバのニーズは、想定以上に増加している。サーバの需要増とともに、高い解像性や重ね合わせ精度を有するICパッケージ基板の需要が増えていることから、同社では露光装置の生産能力のさらなる増強を決定した。