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最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産能力を1.3倍以上増強工場ニュース

ウシオ電機は、御殿場事業所の最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置「UX-5」シリーズの生産スペースを拡張する。総額15億円を投資し、2022年度上期中には生産能力を1.3倍以上高めて生産を開始する。

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 ウシオ電機は2021年5月11日、静岡県御殿場市の事業所について、最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置「UX-5」シリーズの生産スペースを拡張すると発表した。

 投資総額は15億円になる予定で、2021年度上期にレイアウトの変更、生産設備の増強を開始し、2022年度上期中に生産能力を1.3倍以上高めて生産を開始する。なお、同社は2019年にも、投影露光装置の生産能力を2倍に増強している。

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左:御殿場事業所、右:分割投影露光装置「UX-5」シリーズ 出典:ウシオ電機

 生産現場でのIoT(モノのインターネット)の活用が進むにつれ、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバのニーズは、想定以上に増加している。サーバの需要増とともに、高い解像性や重ね合わせ精度を有するICパッケージ基板の需要が増えていることから、同社では露光装置の生産能力のさらなる増強を決定した。

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