最高250nmの空間分解能を有するナノスケールX線顕微鏡を発売：研究開発の最前線

リガクは、スウェーデンのExcillumとの協業により、ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」を発売した。最高250nmの空間分解能などにより、微小な内部構造や欠陥を非破壊のまま3次元で観察できる。

[MONOist]

　リガクは2026年9月1日、スウェーデンのExcillumとの協業により、ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」を発売したと発表した。電池や半導体デバイス、電子部品、先端材料の解析に対応する。

ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」 出所：リガク

　CT Lab HR160は、リガクのX線CTイメージング技術とExcillumのX線源「NanoTube N3」を組み合わせ、最高250nmの空間分解能と最小62nmのボクセルサイズを達成している。従来のマイクロスケールCTシステムでは困難だった、微小な内部構造や欠陥を非破壊のまま3次元で観察できる。

　最大160kVの管電圧と最大出力16.6Wのナノフォーカス透過型X線発生装置を搭載し、幅広い試料に対応する。コーンビーム光学系を採用したことで、X線発生装置や検出器を交換することなく撮影範囲や分解能を調整でき、さまざまなサンプルに柔軟に対応する。

　高性能化や微細化などが進む電池、半導体デバイス、積層セラミックコンデンサー、パワーエレクトロニクスなどの分野では、微細な内部構造と欠陥を高精度に評価する解析技術が求められている。CT Lab HR160は、高度な解析をラボ環境で可能にし、開発期間の短縮、製品品質の向上、精密な故障解析などへ貢献する。

⇒その他の「研究開発の最前線」の記事はこちら