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レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリのα版をリリース人工知能ニュース

エイシングは、レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリのα版「レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0」をリリースした。

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 エイシングは2024年8月15日、レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリのα版「レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0」のリリースを発表した。

 同アプリケーションは、半導体製造装置内のレーザー光源寿命を予測するニーズに応えるために開発した。半導体製造装置に限らず、各種装置に搭載されている位置決め用レーザーにも展開できる。寿命が一目で分かる表示機能、1種類の時系列データでの予測機能を有し、装置内のPC(IPC)にインストールして即利用できる。

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AI寿命予測アプリケーションの画面 出所:エイシング

 従来は線形回帰による推定方法を用いていたが、予測精度が低く予期せぬブレークダウンが発生するという課題があった。同アプリケーションでは、独自アルゴリズムを用いて、光源の個体差に応じた寿命予測でより理想的なCBM(condition based maintenance)を可能にした。

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従来の寿命予測手法との比較[クリックで拡大] 出所:エイシング

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