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独自技術を搭載したレーザーガス分析計、ppbレベルの微量ガスを高速測定：FAニュース
堀場エステックは、独自の赤外ガス分析技術「IRLAM」を搭載したレーザーガス分析計「LG-100」を発売した。ppbレベルの微量なガスを高速測定でき、エッチングがエンドポイントまで到達しているかの判別が可能となる。
堀場エステックは2024年5月21日、独自の赤外ガス分析技術「IRLAM（アーラム）」を搭載したレーザーガス分析計「LG-100」を発売した。
LG-100は、2021年に独自に開発した赤外ガス分析技術のIRLAMを搭載し、ppbレベルの微量なガスを高感度かつ0.1秒の高速で測定できる。半導体製造におけるエッチングプロセスから発生するSiF4（四フッ化ケイ素）の分圧変化をリアルタイムに測定し、変化量からエッチングが規定の深さ（エンドポイント）まで到達しているかの判別が可能となる。
同製品により、アンダーエッチングおよびオーバーエッチングのリスクを軽減できる。また、エッチングで生成される排ガス成分を測定することで、プロセス中の現象を確認可能だ。最先端のロジック半導体の量産化に必要な、GAAトランジスタ構造や高アスペクト比のコンタクトホール形成といった、高度技術におけるエンドポイント判別への寄与も期待される。
同社は今後も、測定ガス対象の多成分化や応答速度の向上など、機能拡張に継続して取り組む。
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