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半導体製造工程での異物検出と除去を1台で行う異物検査装置、堀場製作所が発売FAニュース

堀場製作所は、レティクル、マスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。同社の異物検査装置「PD Xpadion」に自動異物除去機能を搭載し、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。

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 堀場製作所は2024年3月18日、レティクルおよびマスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。

 同装置は、異物検査装置「PD Xpadion」をベースに、自動異物除去装置「RP-1」の機能を搭載する。これにより、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。

 異物の検出と除去が連続的にできるように、レティクル、マスクの格納ケースを2式同時にセット可能なマルチポートも備えた。

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レティクル、マスク異物検査装置「PD Xpadion EX」[クリックで拡大] 出所:堀場製作所

 異物検出と除去工程を一体化することで、異物を除去する際に新たな異物が付着するリスクを軽減する。製造プロセスの効率化や設置面積の低減といったニーズにも応える。

 また、半導体製造工場内の自動搬送装置(OHT:Overhead Hoist Transport)と連携して、レティクルやマスクを受け渡すユニット(EFEM:Equipment Front End Module)を自社開発した。同ユニットは、顧客が求める仕様に柔軟に変更でき、製造プロセスの自動化や省人化に寄与する。

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OHTと自社開発のEFEM 出所:堀場製作所

 同社は今後、PD Xpadion EXの拡張機能として、異物の成分分析や異物付着を防ぐ防塵膜(ペリクル)の膜厚測定などを追加する。

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