XR用マイクロOLEDの一括露光も可能、キヤノンが新たな半導体露光装置を発売：FAニュース
キヤノンは半導体製造における前工程向けi線ステッパーの半導体露光装置「FPA-5550iX」を発売した。
キヤノンは2023年3月13日、半導体製造における前工程向けi線ステッパーの半導体露光装置「FPA-5550iX」を同日に発売したことを発表した。
2015年発売の従来機種「FPA-5510iX」で採用されている投影レンズを継承。50×50mmの広い画角と0.5μmの高解像力を両立しており、半導体製造に加えて高精度化が進むフルサイズのCMOSセンサーや、次世代XR（クロスリアリティー）用ディスプレイとして深い没入感を生む高解像力を持つ2インチほどのマイクロOLEDパネルの一括露光にも適用できる。
また、装置に多数搭載している投影レンズの製造に、KrF半導体露光装置にも使われていた先端製造技術を導入し、レンズ性能に関わる調整法が新しくなったことでより高品質で安定的に生産できるようになった。
回路パターンを重ね合わせる際の位置合わせに用いるアライメントスコープには従来機の直射光を測定する明視野検出機能に加えて、新たに散乱光や回折光を測定する暗視野検出機能を追加し、明視野検出機能では測定しづらいウエハーのアライメントマークにも対応する。エリアセンサーを採用しており、多画素で測定できることで低コントラストのアライメントマークでも測定できる。
CMOSセンサーは2枚の基板を貼り合わせて製造している。FPA-5550iXはオプションでシリコンを透過できる赤外線波長が選択可能となっており、裏面照射型センサーの製造に求められる、裏面のアライメントマークが測定できる。
ソリューションプラットフォーム「Lithography Plus（リソグラフィ プラス）」と連携ができ、露光装置の状態監視などによって稼働率向上への取り組みを加速できる。
「これからXRの世界がさらに広がり、大きな画角で高解像度で一括露光できる装置が広がると考えて新製品の開発に至った。従来機の良い部分を引き継いでいるだけでなく、ユーザーと寄り添う形で製造をサポートできるようになっている。ユーザーのプロセス、運用方法を理解した上でこの装置を育てていきたい」（キヤノン）
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
関連記事
キヤノンが後工程向けi線半導体露光装置を発売、100mm角の広画角で3次元化に貢献
キヤノンは2022年12月6日、半導体デバイス製造における後工程向けの半導体露光装置の新製品として、i線ステッパー「FPA-5520iV LF2オプション」を2023年1月上旬に発売すると発表した。0.8μmの高解像力とつなぎ露光による100×100mmの超広画角の露光を可能とし、積層による3次元技術の実現に貢献する。
半導体露光装置の生産性向上、キヤノンがウエハー計測機を発売
キヤノンは高精度にウエハーのアライメント計測ができる半導体製造用ウエハー計測機「MS-001」の発売を発表した。
微細化と大画面化に対応、キヤノンが生み出す新たな半導体関連技術
キヤノンは「SEMICON Japan 2022」（2022年12月14〜16日、東京ビッグサイト）において、グループ会社のキヤノンアネルバ、キヤノンマシナリーとともに出展し、半導体製造装置の新たなラインアップや技術を紹介した。
日産がMR技術活用で外観目視検査の作業習熟期間を半減、指導工数は9割減
オンラインイベント「製造・自動車業界DXフォーラム2021」において、日産自動車は「【日産自動車が進める生産現場のDX】 Mixed Realityを活用した早期作業習熟の実現」と題し、2021年10月に発表した「ニッサンインテリジェントファクトリー」の取り組みの1つである「MR（複合現実感）を活用した革新的作業指導」について紹介した。
「VR＝仮想現実感」は誤訳!? VRの定義、「製造業VR」の現状と課題
製造業VR開発最前線 前編では、VRやAR、MRの概要、製造業向けVRの他の分野のVRとは異なる特徴、これまでの状況などを説明する。
半導体露光機で日系メーカーはなぜASMLに敗れたのか
法政大学イノベーション・マネジメント研究センターのシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」では、日本における電子半導体産業の未来を考えるシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」を開催。半導体露光機業界で日系企業がオランダのASMLに敗れた背景や理由について解説した。