第3世代MEMSセンサーを発表、FA機器やモバイル機器向け：組み込み開発ニュース

STマイクロエレクトロニクスは、同社の第3世代MEMSセンサー4製品を発表した。大気圧センサー2種と3軸加速度センサー、6軸モーションセンサー各1種は高精度かつ低消費電力で、FA機器やモバイル機器などの機能向上に寄与する。

[MONOist]

　STマイクロエレクトロニクスは2022年2月28日、同社の第3世代MEMSセンサー4製品を発表した。大気圧センサー「LPS22DF」「LPS28DFW」、3軸加速度センサー「LIS2DU12」、6軸モーションセンサー「LSM6DSV16X」となる。

第3世代MEMSセンサー4製品［クリックで拡大］ 出所：STマイクロエレクトロニクス

　大気圧センサーのLPS22DF、LPS28DFWは、最小消費電流が1.7μA、絶対圧精度が0.5hPa。モバイルやウェアラブルデバイスの高度計、気圧計に加えて、気象観測機器や水深センサーといった産業機器にも適する。

　LPS28DFWは防水タイプで、最大測定範囲を1260hPaもしくは4060hPa（水深約30mの水圧に相当）から選択できる。

　パッケージは、LPS22DFが2.0×2.0×0.73mmの10ピンLGA、LPS28DFWが2.8×2.8×1.95mmの7ピンLGAを採用した。どちらも量産中で単価は約1.9ドル。同社のeStoreで無償サンプルも提供している。

　3軸加速度センサーのLIS2DU12は、I3Cインタフェースを搭載。アンチエイリアス処理が可能で、100Hzの出力データレート（ODR）における消費電力は3.5μAとなる。パッケージサイズは2.0×2.0×0.74mm。ウェアラブルデバイスや完全ワイヤレスイヤフォン、補聴器などに適する。

　6軸モーションセンサーのLSM6DSV16Xは、QVAR静電容量式センシングや機械学習コア（MLC）、ステートマシン（FSM）を搭載した。FSMは、デバイスがコンテクストを理解し、システムのウェイクアップなしで自動的に再構成する自己構成機能（ASC）を備えており、消費電力を削減する。最小動作電流は12μAとなっている。

　LIS2DU12およびLSM6DSV16Xは、2022年内の量産開始を予定している。

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