高速外面コーティングと細穴内面成膜に対応するDLCコーティング装置を発売：FAニュース

不二越は、マイクロ波を利用したコーティング技術であるMVP法を採用した、DLCコーティング装置「SMVP-1020」を発売した。高密度プラズマによるDLC膜の高速外面コーティングが可能で、細穴内面の成膜にも対応する。

[MONOist]

　不二越は2021年11月1日、MVP（Microwave sheath-voltage combination Plasma）法を採用した新型DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティング装置「SMVP-1020」を発売した。高密度プラズマによるDLC膜の高速外面コーティングが可能で、細穴内面の成膜にも対応する。オープン価格。

　SMVP-1020は、マイクロ波を利用したコーティング技術であるMVP法を採用。高密度プラズマにより、外面コーティングでは150μm／hrの超高速成膜を可能にした。標準的なアーク法やスパッタ法による従来機に比べ、成膜速度が30倍から最大150倍程度まで向上する。

DLCコーティング装置「SMVP-1020」 出所：不二越

　内面コーティングの成膜領域を拡大し、これまでは困難だった細穴内面のコーティングに対応した。これにより、φ30mm×500L?やφ3mm×100L?など、小径穴内部への成膜品質を確保する。

　処理時間は、同社の従来機に比べ大幅に短縮している。処理膜の切り替えも容易で、少量、多品種の処理に柔軟に対応する。小型設計のため、2台設置して交互運転することで、生産効率をさらに向上できる。

　据付サイズは2.1×2.0×2.1m。成膜有効範囲は250×500?で、対応膜種はDLC、Si-DLCとなる。半導体や紡績、金型などの分野での利用を見込む。