電子材料用の高純度ガス事業を強化するため、上海に第二工場を建設：工場ニュース

昭和電工は、電子材料用の高純度ガス事業を強化するため、上海昭和電子化学材料の隣接地に第二工場を建設する。また、半導体市場の拡大が見込まれる台湾にも、高純度オクタフルオロシクロブタンを年間150t生産できる設備を新設する。

[MONOist]

　昭和電工は2020年1月8日、電子材料用の高純度ガス事業を強化するため、上海の製造拠点である上海昭和電子化学材料（SSE）の隣接地に第二工場を建設すると発表した。

　SSE第二工場には高純度のN₂O（亜酸化窒素）とC₄F₈（オクタフルオロシクロブタン）の製造設備および高圧ガス危険物倉庫を建設する。新工場の面積は約1万m²で、設備の年間生産能力は、高純度N₂Oが1000t、高純度C₄F₈が600tになる。稼働開始は、2021年下半期の予定だ。

　高純度N₂Oは主に半導体やディスプレイ製造時の酸化膜の酸素源として、高純度C₄F₈は、酸化膜の微細加工（エッチング）などに使用される特殊ガスだ。

　現在、同社は高純度N₂Oを川崎事業所と韓国で、高純度C₄F₈を川崎事業所と上海（SSE第一工場）で生産している。中国では化学品への規制が年々強化されており、上海に自社所有の高圧ガス危険物倉庫を確保、拡充することでサプライチェーンを強化し、競争力を向上する。さらに、市場が拡大しても安定して高純度ガスを供給できるよう、地産地消を進めて最適な供給体制を整える。

上海昭和電子化学材料第一工場外観 出典：昭和電工

　なお、台湾でも半導体市場の拡大が見込まれることから、同社の現地製造子会社である台湾昭和化学品製造にも、高純度C₄F₈を年間150t生産できる設備を新設する。稼働開始は2020年春を予定している。

　今回の工場、設備新設に関する投資額は、上海と台湾を合わせて約30億円となる。