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IoT向け異常判別プログラム自動生成マシン、複数の時系列データを分析可能に:FAニュース
東京エレクトロン デバイスは、IoT向け異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に新機能を追加し、「CX-M ver2.1」として提供を開始した。複数の時系列データを分析し、判別モデルを自動生成する。
東京エレクトロン デバイスは2018年8月7日、IoT(モノのインターネット)向け異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」にマルチソース分析機能を追加し、「CX-M ver2.1」として提供を開始した。複数の時系列データを分析し、生産設備の状態を分類、判別するモデルを自動生成する。
CX-M ver2.1はマルチソース分析機能を追加したことで、複数のデータソースの挙動を考慮した分析が可能になった。これまで捉えられなかった複合的な時系列変化を反映し、判別モデルの精度向上に貢献する。
また、GUI上で各データのモデルへの影響度や、モデル作成時に着目したデータの特徴を確認でき、物理現象との対応を元にした考察ができる。
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