DLC成膜用のハイブリッドイオンプレーティング装置：FAニュース

不二越は、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）成膜用のハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を発表した。スパッタリング法とP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により、成膜品質が向上している。

[MONOist]

　不二越は2018年7月31日、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）成膜用のハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を発表した。同年8月に発売する。標準本体価格は1億2000万円（税別）で、年間販売目標は6台だ。

　SPS-2020は、硬さや厚みなど成膜の品質が向上している。これは、イオンビームで成膜物質を真空中にたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して膜を生成するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術によるものだ。

　また、大電流のHCD（ホローカソード放電）式プラズマガン2基を搭載し、高密度のイオンビームを照射する。これによりイオン化率が上昇し、DLC成膜速度が従来機比約1.5倍に向上した。

　独自のプラズマ制御技術と機械構造を採用しており、ワーク間での膜厚などが均一化され、成膜品質が安定する。成膜有効範囲は直径2500×高さ500mmで、処理可能重量200kg、寸法は5000×4500×3000mm。膜種はDLCの他、TiN（窒化チタン）、 AlCrN（窒化アルミクロム）、TiAIN（窒化チタンアルミ）などの成膜が可能だ。

　用途は、アルミ部品切削用工具や、高速回転に対応する軸受、摺動部品、ハイブリッドモーターやロボットの部品などを想定している。

ハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」 出典：不二越