日立ハイテクが半導体製造装置の新製造棟、生産工程のデジタル化/自動化進展 次世代パワー半導体向け化合物半導体ウエハー検査事業強化、堀場が韓国企業買収 光半導体素子の後工程生産能力増強、浜松ホトニクスの新工場が稼働へ 300mmウエハー対応、次世代版全自動量産用ウエハー接合装置 半導体製造フォトリソグラフィ工程で使用する高純度現像液を再生する新工場