300mmウエハー対応、次世代版全自動量産用ウエハー接合装置：FAニュース

EV GROUPは、300mmウエハーに対応する全自動量産用ウエハー接合装置「GEMINI」の次世代版を発表した。大口径のウエハー表面全体において優れた接合品質と歩留まりを保証し、MEMSの生産性向上に貢献する。

[MONOist]

　オーストリアのEV GROUPは2025年3月18日（現地時間）、300mmウエハーに対応する全自動量産用ウエハー接合装置「GEMINI」の次世代版を発表した。大量生産（HVM）ウエハー接合の世界業界標準に準拠するプラットフォームとしてGEMINIシステムに実装し、既に複数の大手MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）メーカーに納入している。

全自動量産用ウエハー接合装置「GEMINI」の次世代版［クリックで拡大］ 出所：EV GROUP

　新製品は、新たに設計した超高荷重ボンドチャンバーを備えるGEMINI装置プラットフォームだ。大口径のウエハー表面全体において優れた接合品質と歩留まりを保証し、MEMSの生産性向上に貢献する。

　MEMSデバイス市場では、フットプリントの大きなMEMSデバイスの製造に対応するため、200mmから300mmウエハーの生産ラインへの移行が進んでいる。しかし、300mmウエハーに対応するには、単位面積当たりの荷重を200mmウエハーと同水準にするため、より高い荷重を制御する必要がある。

　新製品は、制御可能な荷重（最大350kN）、高真空（最低5×10⁻⁶mbarまで）、加圧制御機能（2000mbar abs.）を備えるボンドチャンバーを最大4つ搭載可能。300mmのMEMS製造に要求されるレベルを超える仕様を満たす。

　また、モジュール構成のためカスタマイズが可能で、多様な接合プロセスに対応できる拡張性の高さや全自動式光学アライメント機能など、前世代プラットフォームの機能も継承している。

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