半導体製造装置23品目の輸出を規制する省令が7月23日に施行、経済安全保障で iAS搭載で生産を効率化、ミドルクリティカルレイヤー向けArF液浸スキャナー 半導体製造用ガス精製装置の新棟が平塚で稼働開始、生産能力を1.6倍に強化 日立が山口に半導体製造装置事業のエッチング装置製造棟新設、2025年に完成予定