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スループット性能が約2.6倍向上、新たな深紫外レーザー採用のウエハー表面検査装置：FAニュース
日立ハイテクは、パターンなしウエハー表面の異物や欠陥を検査するウエハー表面検査装置「LS9600」を発売する。高出力かつ短波長の深紫外レーザーなどを新たに採用し、従来製品に比べ、スループット性能が約2.6倍向上している。
日立ハイテクは2022年12月13日、パターンなしウエハー表面の異物や欠陥を検査するウエハー表面検査装置「LS9600」を発売すると発表した。従来製品に比べ、半導体デバイスの量産に必要な感度におけるスループット性能が約2.6倍向上している。
LS9600は、従来製品よりも高出力かつ短波長の深紫外レーザーを搭載。微小欠陥からの散乱光量を増加し、高感度化している。新型の検出光学システムは、DOI（Defect of Interest：検出したい欠陥）からの散乱光を捕捉する面積を従来製品より拡大。高感度センサーにより、微弱散乱光検出率が約20％向上した。
また、新データ処理システムを採用。DOIからの散乱光データ処理アルゴリズムを改善して高感度化したほか、高速リアルタイムデータ処理により高スループット化した。これにより、半導体デバイス量産の歩留まりを向上し、検査コストを削減する。
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