半導体製造向け精密チラー、小型ながら冷却能力4.0kWの高出力：FAニュース

荏原製作所は、小型ながら冷却能力4.0kWと高出力の半導体製造プロセス向け精密チラー「RJ-SA型」を発表した。独自の小型ポンプ採用により、省スペース化のニーズに応え、サブファブスペースの効率利用をサポートする。

[MONOist]

　荏原製作所は2021年11月8日、小型ながら冷却能力4.0kWと高出力の半導体製造プロセス向け精密チラー「RJ-SA型」を発表した。2022年1月の発売を予定している。

半導体製造プロセス向け精密チラー「RJ-SA型」 出所：荏原製作所

　高度情報化社会の急速な進展を受けて、近年、半導体製造プロセスの負荷が高まり、製造装置の台数や装置1台のチャンバ数、さらには装置に付帯するサブファブ（半導体製造工場の床下環境）機器の台数が増加傾向にある。

　それに伴い、小型で高出力、効率的にサブファブスペースを利用できるチラーの需要が高まっている。今回、このニーズに特化したRJ-SA型を開発した。

　RJ-SA型は同社独自の小型ポンプ「SSPD型」を採用し、省スペース化のニーズに応える。本体サイズ368×947×1097mmと小型ながら冷却能力4.0kWの高出力を誇り、サブファブスペースの効率的な利用をサポートする。

　また、不燃性でGWP（地球温暖化係数）の低い冷媒「R448A（GWP：1380）」に対応し、環境への負荷や漏洩時のリスクを低減する。温度制御範囲は−20〜−30℃で、±0.1℃と高精度な温度制御が可能で、プロセスの安定性や歩留まりの向上にも貢献する。