半導体需要に対応し中国でドライ真空ポンプのオーバーホール工場：工場ニュース

[MONOist]

　荏原製作所の海外グループ会社である合肥荏原精密机械（以下、HEPM）は、2021年7月8日、建設していたドライ真空ポンプのオーバーホール工場が完成し、オープニングセレモニーを行った。

オーバーホール工場外観　出典：荏原製作所

　中国の合肥エリアは、深センや上海などに代表される中国有数の半導体産業集積地を目指し、現在開発が進められている。HEPMは精密・電子事業の拠点として2018年12月に設立。ドライ真空ポンプのサービス＆サポート事業をメインに展開してきた。

　ドライ真空ポンプは封止に油や液体を使用しない非接触型の真空ポンプで、クリーン度が重視される半導体製造工程、FPDやLED、太陽電池製造工程に必須となる。荏原製作所では、今回のオーバーホール工場の稼働により、さらに充実したサービスとサポートを提供し、合肥における半導体製造を支援していく計画だ。新工場の敷地面積は2万m²で、投資金額は約9480万元（約14億円）だとしている。

　荏原製作所では、2021年4月にドイツのドレスデンでもドライ真空ポンプのオーバーホール工場の稼働を開始。また、ドライ真空ポンプを生産する神奈川県の藤沢工場でも自動化による生産能力の拡大を図るなど、世界的に高まる半導体需要に対応していく方針だ。

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