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SiCパワーデバイスの生産能力強化のため、環境配慮型の新棟を建設工場ニュース

ロームは、SiCパワーデバイスの生産能力を強化するため、グループ会社のローム・アポロの筑後工場に新棟を建設した。使用電力を100%再生可能エネルギーとする、環境配慮型の最新工場となる。

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 ロームは2021年1月7日、SiC(炭化ケイ素)パワーデバイスの生産能力を強化するため、グループ会社のローム・アポロ(本社:福岡県)の筑後工場に新棟を建設したと発表した。製造装置を順次設置し、2022年の稼働開始を予定する。

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筑後工場の新棟 出典:ローム

 新棟は2019年2月に建設を開始し、2020年12月に完成。使用電力を100%再生可能エネルギーとする、環境配慮型の最新工場となる。排熱を有効活用した高効率の空調設備や純水製造設備など、さまざまな省エネルギー技術を用いた設備を導入する。

 同社は、2010年よりSiC SBD(ショットキーバリアダイオード)、SiC MOSFETなどのSiCパワーデバイスを手掛けてきた。製造面では、同社グループによる一貫生産体制を構築し、ウエハーの大口径化や最新設備を活用した生産効率の向上に取り組んでいる。

 同時に、モノづくりにおける環境負荷の軽減に努めており、筑後工場の新棟もCO2排出量を従来設備比20%減とするなど、環境に配慮した。さらに今後、SiCウエハーを製造するドイツのグループ会社SiCrystalの工場でも、2021年度より再生可能エネルギー使用率100%での稼働を予定している。これらの取り組みにより、SiCウエハーの主要な生産工程は、全て再生可能エネルギーを利用した環境配慮型の生産体制になるという。

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