板状ワークの直径1μmの穴欠陥を高速検出するピンホール検査ユニット：FAニュース

浜松ホトニクスは、板状ワークの直径1μmまでの穴欠陥を高速に検出するピンホール検査ユニット「C15477」を発売した。穴欠陥の最小検出面積はこれまでの約4分の1で、検査精度向上が期待される。

[MONOist]

　浜松ホトニクスは2020年3月2日、板状ワークの直径1μmまでの穴欠陥を高速に検出するピンホール検査ユニット「C15477」を発売した。

　価格は、C15477に光源ユニット「L12057」シリーズ、集光ユニット「A12159」シリーズがセットになった、ピンホール検査ユニット一式で520万円（税別）。2021年度は年間10台、2024年度には年間100台の販売目標を掲げる。

右：「C15477」、左上：「L12057」シリーズ、左下：「A12159」シリーズ（クリックで拡大） 出典：浜松ホトニクス

　C15477は、受光面積の大きい光電子増倍管を用いるとともに、ノイズを低減させる信号処理手法を採用。1台で大面積の板状ワークの直径1μmまでの穴欠陥を高速に検出できる。光源ユニットから光を照射し、ワークの穴欠陥を通過した光を集光ユニットで効率的に集め、C15477によって信号として検出してワークの微小な穴欠陥の有無を判別する。

左：検査の仕組み、右：検査ユニット一式（クリックで拡大） 出典：浜松ホトニクス

　増幅回路により信号量を増幅させる一方で、ロックインアンプを採用したことで信号量を増幅し、ノイズを低減した。これにより、最小検出面積比で従来の約4分の1となる直径1μmまでの板状ワークの穴欠陥を検出できる。燃料電池自動車向けの燃料電池のセパレーターやパウチ型二次電池のアルミラミネート外装、薄板のプレス加工品などの検査精度の向上が期待される。

　また、受光面積の大きい光電子増倍管を採用し、これまで4台の検査ユニットで検査していた480×180mmの板状ワークを1台で検査可能になった。

　光源ユニットは、LEDモジュールの組み合わせを変更することで、ワークのサイズに応じて発光面積を調整可能。また、光量をモニタリングするための光検出器の組み込みにより、LEDの劣化を把握できるためメンテナンス性が向上した。

　C15477は、光源、集光ユニットとともに検査ユニットとして国内外の自動車関連メーカーなどに販売。今後は、より微小な穴欠陥を検出できる検査ユニットの開発を進めていく。