精密被検物を素早く測定する、シリーズ最高精度のCNC画像測定システム：FAニュース
ニコンは、CNC画像測定システム「NEXIV」シリーズ最高精度となる「NEXIV VMZ-H3030」を発表した。半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物の寸法を高速、高精度に自動測定する。
ニコンは2018年8月21日、CNC画像測定システム「NEXIV（ネクシブ）」シリーズ最高精度の「NEXIV VMZ-H3030」を発表した。価格は2200万円から（税別）。発売は同年10月1日を予定している。
NEXIV VMZ-H3030は、同社独自の光学技術と画像処理技術により、半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物の寸法を自動で測定するCNC画像測定装置だ。
高精度リニアエンコーダーと精密動作ステージにより測定精度が高く、毎秒30フレームの高速画像転送、短い光量調整時間で迅速に測定できる。また、高性能TTL（Through The Lens）レーザーオートフォーカス技術で、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みを検出する。
さらに、リング照明の角度調整機構により、エッジの検出技術が向上。複雑な形状をした機械部品やモールド部品、高密度プリント基板、半導体の300mmウエハーなど、最大30kgまでの被検物に広く対応する（精度保証値は10kg）。ストロークは300×300×150mmで、装置寸法は1000×1125×1750mm。質量は約500kgとなっている。
操作性に優れたNEXIV VMZ-Rシリーズの各種ソフトウェアに対応し、「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能を利用できる。画像の合成や解析、検査成績書の作成など、用途に合わせた機能追加も可能だ。
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