高精細大型パネルの生産に適した、高タクトタイム高解像度のFPD露光装置：FAニュース

ニコンは、第10.5世代のプレートサイズに対応するFPD露光装置の新製品「FX-103S」「FX-103SH」を発売した。FX-103Sは、従来機「FX-101S」との比較で高タクトタイムを達成。FX-103SHは、高解像機能を備えている。

[MONOist]

　ニコンは2018年2月22日、FPD露光装置の新製品「FX-103S」「FX-103SH」を発売した。第10.5世代プレートサイズ対応で、4Kテレビや8Kテレビ、高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に適している。

　FX-103Sは、従来の第10世代プレートサイズ対応露光装置「FX-101S」との比較で高タクトタイムを達成。FX-103SHは、高解像機能を備えている。

　タクトタイムはプレート当たり60秒。高タクトタイムを達成するため、FX-101Sの露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新し、より高速・高精度な露光が可能になった。

　FX-103SHは、照明系とマルチレンズシステムに「FX-86SH2」で開発した独自の解像度向上技術を適用し、第10.5世代向けに最適化した。また、新たなオートフォーカスシステムを搭載。マスクたわみやプレート平面度などの誤差を補正する。解像度は2.2μm（L／S：Line and Space）と高く、広い実用焦点深度を確保する。

　計測精度も向上しており、FX-101Sの位置計測システムを新たに設計したことで、アライメント精度が±0.5μmと高精度になった。スループットも大幅に向上。65インチパネルを生産対象とした場合は毎時480枚で、これは従来機比77％増となる。75インチパネルでは、毎時322枚を達成している。

　両製品は、中小型高精細パネルの生産に適した第6世代プレートサイズ対応露光装置「FX-67S2」と、テレビ用パネル生産向けの第8世代プレートサイズ対応露光装置FX-86SH2の技術を融合し開発された。

FPD露光装置「FX-103S」（クリックで拡大） 出典：ニコン