高精度レーザー変位センサーに正反射、ショートレンジの2タイプを追加：FAニュース

オプテックス・エフエーは、高精度レーザー変位センサー「FASTUS CDX」シリーズの正反射タイプとショートレンジタイプを追加する。新開発の高剛性ボディーと受光レンズのカスタム化により、測定誤差を最小限にしている。

[MONOist]

　オプテックス・エフエーは2018年2月15日、高精度レーザー変位センサー「FASTUS CDX」シリーズの正反射タイプとショートレンジタイプを同年3月上旬に追加すると発表した。標準価格は両タイプとも35万円（税別）。年間の国内目標販売数を3000台としている。

　FASTUS CDXシリーズは、非接触で超高精度測定ができるレーザー変位センサー。イーサネット通信機能とWebサーバを搭載し、センサーの測定値や設定をWeb上で閲覧・制御できる。

　今回追加するのは、測定範囲15±1mmで分解能0.01μmの正反射タイプと、測定範囲30±5mm（拡散反射設置時）で分解能0.05μmのショートレンジタイプ。それぞれスポットタイプとワイドタイプを展開する。

　実際の距離との誤差を表すリニアリティは、ショートレンジのワイドタイプで全測定範囲±0.015％を達成。測定誤差を最小限にしている。

　新たに開発した専用設計の光学系と独立ベースユニット構造の高剛性ボディーにより誤差の要因を排除する。受光部にはNeo LDレンズを搭載。受光レンズをカスタム化して、測定対象から反射される光を受光素子上に高精度に結像させることで、レンズ収差によるスポットのひずみを大幅に軽減している。

　用途は、ガラスやウエハーなど透明体、鏡面体の測定に適しており、FPD（フラットパネルディスプレイ）や半導体、電子部品業界などの分野で広く利用できる。

製品外観（正反射タイプ） 出典：オプテックス・エフエー