ダイヘン、電気自動車用ワイヤレス給電用高周波電源システムをアピール：SEMICON Japan 2014

ダイヘンは、「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3〜5日）で、ブース規模をこれまでよりも大幅に拡大し、多彩な電源ラインアップを出展。総合力をアピールした。

[長町基，MONOist]

　ダイヘンは「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3〜5日、東京ビッグサイト）で、ブース規模をこれまでよりも大幅に拡大し、多彩な電源ラインアップを出展。総合力をアピールした。

　RF電源製品では、標準製品シリーズ「AVANCER」のラインアップを拡大し、新モデルを披露。これまで13.56MHzおよび60Mの2周波数帯だけの展開であった高効率モデルおよび2レベルバルス対応モデルを、より多彩な周波数帯で提案した。また、低周波数・低パワーモデルから薄型ディスプレイ製造装置向け大容量モデル、マイクロ波製品まで幅広いラインアップを取りそろえて、RF電源メーカーとしての総合力を披露した。

電気自動車のワイヤレス給電システム用途なる高周波電源システムを提案（クリックで拡大）

　搬送ロボットでは、業界初のウエハー外周の欠陥検出機能付きアライナ「AIGIS」、コンパクトなボディながら高スループットを実現した新型EFEM（Equipment Front End Module）「Ophiuchs」を出展。「ACTRANS」シリーズからは垂直スカラーロボット「UTM-R3700F」をはじめとした4種類の製品を展示し、それぞれ動作デモンストレーションを行うことでその特徴を紹介した。

　このうち、アライナ「AIGIS」はウエハー外周上の欠けやバリを検出することで、ウエハー破損による装置停止を防ぐことができる。また簡略化したウエハー検査機能で、高コストの検査システムの代わりに、簡単に装置へ組み込むことが可能だ。センタリング動作と欠陥検出を同時に行うため、通常のセンタリング動作時間内で検出ができる。さらに、ウエハーの検査データはシリアルI／FでPCへ出力でき、欠陥の原因究明に活用が可能だ。

　その他、新規開発技術として「ワイヤレス給電用高周波電源システム」も出展。実際に電気自動車を設置するなどして技術力をアピールした。同社のシステムは、センサーで感知したコイル位置関係の変化に応じて、自動的に最大効率となるよう調整するため縦・横方向の位置ずれを気にせずに楽に駐車できる自動調整機能が大きな特徴となっている。また、MHz帯であっても高効率・低価格な電源システムを提供できるため、MHz帯を使用することによる送受信コイルの小型・軽量化メリットを最大限に引き出している。kHz帯からMHz帯まで幅広い周波数帯のシステムを利用シーンに応じて提供可能な点も特徴だ。