最先端プロセス対応の半導体計測装置、最大6倍の高速化を実現 半導体アドバンスドパッケージ向けステッパ露光装置、ウシオ電機が2026年度発売へ 半導体製造装置向けの旺盛な受託生産需要など対応、ベトナムで生産体制強化