キヤノン露光装置新工場は部品搬送を徹底自動化したスマートファクトリーに ニコン初の半導体デバイス製造後工程向け露光装置、600mm角の大型基板対応 半導体向け工場拡大などで生産能力50%増、通期売り上げ20%成長見込む 競争激化の半導体製造装置業界「特許けん制力ランキング」、1位の企業は…… 浜松ホトニクスが光半導体製造前工程の新棟、8インチウエハー対応ラインも