マレーシアで半導体ウエハーバンピングの受託加工向け製造装置増設 信越化学が群馬県伊勢崎市に半導体露光材料の新工場建設、約830億円を投資 半導体製造工程での異物検出と除去を1台で行う異物検査装置、堀場製作所が発売