検出精度とスループットを向上した半導体生産ライン向けウエハー欠陥検査装置 高度なガス流量制御で半導体製造工程の生産性向上、堀場エステックが新製品 次世代パワー半導体材料を非接触で切断、素材の有効活用率を高め生産性向上 新リソグラフィ技術「DLT」を3Dパッケージ基板へ、AMATとウシオ電機が協業 宮城に半導体製造装置向けプラズマ電源の修理拠点、従来比3倍規模でサポート拡充