FPD露光装置向けLED照明、消費電力65％減で装置全体10％以上の低電力化：FAニュース

キヤノンは、第8世代ガラス基板に対応したFPD露光装置「MPAsp-H1003H」向けのLED照明オプションを発売する。照度向上と長寿命化により生産性を高め、大幅な低電力化を可能にする。

[MONOist]

　キヤノンは2026年8月26日、第8世代ガラス基板に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置「MPAsp-H1003H」の有償オプションとして、新設装置向けに、水銀ランプに代わりLED光源を採用したLED照明オプションを同年9月上旬発売すると発表した。

FPD露光装置「MPAsp-H1003H」［クリックで拡大］ 出所：キヤノン

従来の水銀ランプ方式（左）と比べ、光源ユニットを3基から1基に集約（右）［クリックで拡大］ 出所：キヤノン

　同製品は、LED光源の採用により、水銀ランプと比較して照度を40％以上向上させ、タクトタイムの短縮を可能にした。光源ユニットは従来の3基から1基に集約している。光源寿命も従来の1000時間から2万時間にまで延びており、約20倍の長寿命化を達成。光源交換の頻度を抑制することで交換に伴う装置の停止時間を減らし、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支える。

　ランニングコストと環境負荷の抑制にも寄与する。照明ユニットの消費電力は従来比で65％以上削減し、露光装置全体では10％以上の低電力化を可能にした。また、露光装置1台当たりの水銀廃棄量を年間1kg以上削減する。

　同社は今後、LED照明オプションの対応機種の拡充や、稼働中の既設装置の光源をLEDへアップグレードする有償サービスの展開も進めていく方針だ。

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