12インチウエハー形状に適合、圧力検査向け測定フィルム発売：FAニュース

富士フイルムは、半導体製造工程における圧力検査向けに、12インチウエハー形状に適合する「円形プレスケール」を発売した。ウエハーボンディング工程において、工数や時間の削減に寄与する。

[MONOist]

　富士フイルムは2026年6月8日、半導体製造工程における圧力検査向けに、12インチ（直径300mm）ウエハーの形状に合わせた円形タイプの圧力測定フィルム「円形プレスケール」を発売した。検査時にカットする手間を省いてそのまま使用できるため、ウエハーやチップを接合するウエハーボンディング工程において、工数や時間の削減に寄与する。

「円形プレスケール」の使用イメージ［クリックで拡大］ 出所：富士フイルム

　同製品は、接触した物同士の圧力や面圧のバランス、分布を可視化する圧力測定フィルム「プレスケール」のラインアップとして追加された。発色剤と顕色剤が別々の支持体に塗布されたツーシートタイプを採用。圧力が加わると発色剤層のマイクロカプセルが破れ、内包された無色の染料が顕色剤と接触して化学反応を起こし、赤く発色する仕組みだ。

ツーシートタイプのプレスケールの構造［クリックで拡大］ 出所：富士フイルム

「円形プレスケール」のワークフロー［クリックで拡大］ 出所：富士フイルム

　測定可能な圧力範囲や推奨温度に応じて、常温用の「LLLW」（0.2〜0.6MPa）、「LLW」（0.5〜2.5MPa）、「LW」（2.5〜10.0MPa）のほか、35〜150℃に対応する高温用「100」シリーズ、150〜220℃に対応する高温用「200」シリーズを展開。フィルムには持ち手部分が設けられており、測定面に触れることなく取り扱える。

　さらに、発色画像をモバイル端末で読み取って圧力を数値化できるアプリ「プレスケールモバイル」が本製品の読み取りに対応したほか、高解像度FAカメラで読み取る専用の圧力画像解析装置「プレスケールステーション」も2026年7月に対応を予定している。

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