200nm以下の深紫外域を直接撮像する独自のUVセンサー搭載カメラ：FAニュース

アプロリンクは、200nm以下の深紫外領域を直接検出できるPhotonfocusのUV専用イメージセンサー搭載カメラの国内販売を開始した。エキシマレーザーのビームプロファイルなどを、蛍光板を介さずにリアルタイムで定量評価できる。

[MONOist]

　アプロリンクは2026年1月27日、Photonfocusが開発したUV専用イメージセンサーを搭載するUVカメラの国内販売を開始したと発表した。200nm以下の深紫外（DUV）領域を直接撮像できるのが特徴だ。アルゴンフロライド（ArF）やクリプトンフロライド（KrF）エキシマレーザーを用いる半導体露光、レーザー微細加工、光学評価などの用途において、高精度な計測を可能にする。

Photonfocus開発のUV専用イメージセンサー搭載のUVカメラ［クリックで拡大］ 出所：アプロリンク

200nm以下の波長を検出［クリックで拡大］ 出所：アプロリンク

　従来、200nm以下の波長域は一般的なCMOSセンサーの感度範囲外であり、シリコン表面の保護膜で減衰するため検出が困難だった。そのため、蛍光板や変換素子を用いて可視光に変換して観測する手法が主流だったが、空間分解能の劣化や定量評価の難しさが課題となっていた。

　PhotonfocusのUVカメラは、DUV光子の吸収効率を高めるために表面構造を最適化した独自のセンサーを採用。パッシベーション設計の見直しやUVグレードの石英（Quartz）ウィンドウの採用により、物理的制約を克服した。これにより、パルスごとの強度分布変動や、石英レンズおよびミラーを含むDUV光学系の透過、反射評価を直接、かつリアルタイムに可視化できる。

　カメラの主な仕様は、解像度が1280×1024pix、画素サイズが7.4μm/pix、最大フレームレートは140fps。インタフェースは10GigEまたはGigEに対応し、Cマウントを採用した。半導体露光装置やUVレーザー加工装置のメーカー、研究機関などに向けて、光学調整や評価工程の精度向上を提案していく。

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