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誤差要因の排除で測定精度が従来モデル比26％向上、高精度なCNC3次元測定機：FAニュース
ミツトヨは、高精度なCNC3次元測定機「LEGEX 匠モデル」を発売した。測定精度を従来比で26％向上しており、1mの物体を測定した際の誤差が従来モデルの1.28μmから0.93μm以下となる。
ミツトヨは2023年9月25日、高精度なCNC3次元測定機「LEGEX 匠モデル」を同月中に発売すると発表した。従来モデルの誤差要因を分析し、排除したことに加え、測定精度を高めている。
最大許容長さ測定誤差E0,MPEが0.23＋0.7L/1000μm（19〜21度）と、測定精度が従来に比べて26％向上している。1mの物体を測定した際の誤差は、従来モデルの1.28μmから0.93μm以下となる。師匠制度を進化させた新たな技能伝承の仕組み「匠マイスター制度」によって培われた超高精度ラップ技術、仕上げ技術を活用している。
18〜22度の最大許容長さ測定誤差E0,MPEは0.25＋0.7L/1000μm、最大許容長さ測定誤差E150,MPEは0.33＋0.7L/1000μm（19〜21度）、0.35＋0.7L/1000μm（18〜22度）となっている。
測定範囲は500×700×450〜900×1000×600mm、最大許容繰り返し範囲R0,MPLは0.20μm（19〜21度）、0.22μm（18〜22度）。工作機械、半導体製造装置、レンズ、精密金型、マスターゲージなどに適している。
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