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誤差要因の排除で測定精度が従来モデル比26%向上、高精度なCNC3次元測定機FAニュース

ミツトヨは、高精度なCNC3次元測定機「LEGEX 匠モデル」を発売した。測定精度を従来比で26%向上しており、1mの物体を測定した際の誤差が従来モデルの1.28μmから0.93μm以下となる。

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 ミツトヨは2023年9月25日、高精度なCNC3次元測定機「LEGEX 匠モデル」を同月中に発売すると発表した。従来モデルの誤差要因を分析し、排除したことに加え、測定精度を高めている。

 最大許容長さ測定誤差E0,MPEが0.23+0.7L/1000μm(19〜21度)と、測定精度が従来に比べて26%向上している。1mの物体を測定した際の誤差は、従来モデルの1.28μmから0.93μm以下となる。師匠制度を進化させた新たな技能伝承の仕組み「匠マイスター制度」によって培われた超高精度ラップ技術、仕上げ技術を活用している。

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CNC3次元測定機「LEGEX 匠モデル」の外観 出所:ミツトヨ
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「LEGEX 匠モデル」のアップ 出所:ミツトヨ

 18〜22度の最大許容長さ測定誤差E0,MPEは0.25+0.7L/1000μm、最大許容長さ測定誤差E150,MPEは0.33+0.7L/1000μm(19〜21度)、0.35+0.7L/1000μm(18〜22度)となっている。

 測定範囲は500×700×450〜900×1000×600mm、最大許容繰り返し範囲R0,MPLは0.20μm(19〜21度)、0.22μm(18〜22度)。工作機械、半導体製造装置、レンズ、精密金型、マスターゲージなどに適している。

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