半導体製造装置企業の特許資産規模ランキング発表、1位は東京エレクトロン：知財ニュース

パテント・リザルトは、半導体製造装置企業が保有する特許資産を総合評価した「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング」を発表した。1位は東京エレクトロン、2位はAPPLIED MATERIALS、3位はSCREENホールディングスとなっている。

[MONOist]

　パテント・リザルトは2023年1月17日、半導体製造装置企業が保有する特許資産を総合評価した「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング」を発表した。1位は東京エレクトロン、2位はAPPLIED MATERIALS、3位はSCREENホールディングスとなっている。

半導体製造装置の特許資産規模ランキング 出所：パテント・リザルト

　同社が独自に分類した半導体製造装置業界の企業を対象に、2021年4月〜2022年3月の1年間に登録された特許について調査。注目度で得点化する「パテントスコア」を用いて評価し、企業ごとに集計してランキングした。

　1位の東京エレクトロンでは、「高スループットで処理可能な、小型の塗布、現像装置」「光を照射する基板処理装置において、光源部の発光状態の安定化を図り、安定した作業を行う方法」が注目度の高い技術として挙げられる。

　2位のAPPLIED MATERIALSは、「エネルギーストレージデバイスにリチウム金属を堆積させ、また処理する方法」「基板上の粒子汚染を増加させず、パージガス・加圧ガスの流量を増加させる装置」が特に注目度の高い技術だ。

　3位のSCREENホールディングスでは、「印刷画像の視認性低下を抑制し、かつコーティング層の印刷不良を確認できる固体製剤」「基板の外周部における処理幅を精密に制御できる基板処理装置」が注目度の高い技術としている。

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