半導体検査時の電圧低下を抑制、抵抗値を約20％削減した低抵抗プローブ：FAニュース

ヨコオは、プランジャーの先端形状やばね構造を見直すことで、抵抗値を従来比約20％削減した、半導体検査向けの「低抵抗プローブ」を発表した。半導体検査時の電圧低下を抑え、安定した検査工程を提供する。

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　ヨコオは2022年10月11日、抵抗値を従来比約20％削減した、半導体検査向けの「低抵抗プローブ」を発表した。プランジャーの先端形状やばね構造を見直すことで抵抗値を抑えており、半導体検査時の電圧低下を低減できる。

半導体検査用「低抵抗プローブ」 出所：ヨコオ

　半導体検査で使用するプローブは、金属製のチューブの両端にプランジャーという金属部品が付いている。両端にあるプランジャーは、チューブ内部のばねの伸縮により上下に可動する。

　新開発の低抵抗プローブは、プランジャーが片側だけ可動する片可動プローブとなる。また、ばね荷重を高くすることで、抵抗値を削減した。これらに加え、プランジャーの先端形状とばね構造を最適化し、プランジャーと基板との抵抗値を削減している。

片可動プローブの採用で抵抗値を削減［クリックで拡大］ 出所：ヨコオ

　半導体の高度化と省電力化が進むと、従来のプローブでは検査時に電圧低下を引き起こす可能性が懸念される。新開発の低抵抗プローブは、半導体の検査時に電圧低下を抑え、安定した検査工程を提供できる。同技術は、他用途のプローブへの応用も期待される。

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