ニュース
300mmウエハーの一括検査に対応、内部の微細な欠陥を画像化する超音波映像装置：FAニュース
日立パワーソリューションズは、欠陥検出画像の高画質化と300mmウエハーの一括検査に対応した、超音波映像装置「FineSAT7」を発売する。超音波の反射、透過特性を利用して、半導体や電子部品内部の微細な構造、欠陥を非破壊で検出、画像化する。
日立パワーソリューションズは2022年8月29日、欠陥検出画像の高画質化と300mmウエハーの一括検査に対応した、超音波映像装置「FineSAT7」を同年10月1日に発売すると発表した。半導体デバイスや電子部品、大型ウエハーの品質検査精度を向上できる。価格は2850万円から（税別）。
FineSAT7は、超音波の反射、透過特性を利用して、半導体や電子部品内部の微細な構造、剥離およびボイドなどの欠陥を非破壊で検出、画像化する。従来機に比べ、分解能を16倍、測定周期を2倍向上させたADボードを採用し、デジタル処理後の特徴抽出精度を向上できる。
また、1画素の輝度に対して周囲8カ所から取得した超音波波形を足し合わせて平均化する技術を採用。電子回路の熱雑音などに起因して発生するランダムノイズを低減し、欠陥検出画像を高画質化する。
直径300mm（12インチ）ウエハーの一括検査にも対応した。装置内の機器配置を見直し、検査対象物を測定する水槽を大型化することで、測定機器の可動域を拡大。全面一括で検査が可能になった他、検査対象物の水槽内での移動、超音波の反射の原因となる気泡の除去などの作業性も向上した。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
関連記事
半導体露光機で日系メーカーはなぜASMLに敗れたのか
法政大学イノベーション・マネジメント研究センターのシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」では、日本における電子半導体産業の未来を考えるシンポジウム「海外のジャイアントに学ぶビジネス・エコシステム」を開催。半導体露光機業界で日系企業がオランダのASMLに敗れた背景や理由について解説した。
ナノスケールのちりの影響を抑制、半導体製造装置が目指すIoT活用
「SEMICON Japan 2016」のIoTイノベーションフォーラムで登壇した東京エレクトロン執行役員の西垣寿彦氏は、半導体製造における“ちり”の管理と、IoTを使った生産性向上の取り組みについて紹介した。
72台の装置を半日で稼働、日本発「ミニマルファブ」が変える革新型モノづくり
産総研コンソーシアム ファブシステム研究会などは「SEMICON Japan 2016」で、「ミニマルファブの開発成果を発表。同研究会などが推進するミニマル生産方式による製造装置「ミニマルシリーズ」72台を設置し、半導体製造工程のほとんどをカバーできるようになった成果をアピールした。
第4次産業革命で変わる検査と品質向上の取り組み
製造業の産業構造を大きく変えるといわれている「第4次産業革命」。本連載では、第4次産業革命で起きていることや、必要となることについて、話題になったトピックなどに応じて解説していきます。第21回となる今回は、IoTやAIを活用することで品質向上への取り組みがどのように変化するのかという点を紹介します。
品質不正問題にどう立ち向かうのか、抜本的解決のカギはIoTと検査自動化
2017年の製造業を取り巻く動きの中で、最もネガティブな影響を与えたのが「品質不正」の問題だろう。「日本のモノづくり」のブランド力を著しく傷つけたとされるが、2018年はこの問題にどう対応するのかという点は、全ての製造業の命題である。人手不足が加速する中、解決につながる「仕組み」や「ツール」に注目が集まる1年となる。
IoT時代にどう立ち向かうか、自動検査の位置付けを変えたマインドセット
「検査装置は不具合を見つける装置ではなく、不具合を出さないためのものだ」――。基板実装ラインなどで使われる外観検査装置で好調を続けるサキコーポーレーションだが、成功の土台には「マインドセット」の取り方にあったという。サキコーポレーション社長の秋山咲恵氏の講演の内容をお届けする。