韓国の高純度亜酸化窒素製造拠点を増強し、供給体制を強化：工場ニュース

昭和電工は、韓国の斗岩産業の工場内に精製設備を建設し、高純度亜酸化窒素の製造拠点を増強した。

[MONOist]

　昭和電工は2015年2月4日、韓国の斗岩産業の工場内に建設していた精製設備が完成したと発表した。斗岩産業と共同で建設していたもので、同年3月より本格的に運転を開始する。

　高純度亜酸化窒素は、半導体CVDプロセスで絶縁酸化膜形成用ガスとして使用される特殊ガス。近年、ディスプレイ製造時の酸化膜の酸素源としても用途が拡大しており、同社では需要拡大に合わせて供給体制を強化するため、設備を増強した。

　今回の拠点増強により、同社グループの高純度亜酸化窒素供給能力は、川崎事業所の年間生産能力1200tと韓国での生産能力600tを加えた1800tになる。

　同社では今後、アジア地区を中心にグローバル展開を推進し、高純度アンモニアをはじめとする半導体高純度ガスの拡販を進めていくという。

韓国の高純度亜酸化窒素製造設備

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