点検用巡回ロボットに点検AIを搭載、アナログメーターの点検業務を自動化 半導体チップのナノスケール欠陥を分析、AI活用の電子ビーム装置を発表 横河が測定速度20倍向上の光スペクトラムアナライザー、本体サイズは半分以下 ガラス基板の表裏面と内部の検査が可能に、半導体先端パッケージ向け