ポスト5G/6Gに向けてTHz帯メタサーフェス反射板の評価装置を開発 1000兆分の1アンペアレベルの微小電流標準の確立へ、産総研とNTTが前進 オゾン破壊係数ゼロで扱いやすいフッ素系液体、微細な部品の洗浄に対応