世界シェアトップの測長SEMをDigital&Cleanで生産、日立ハイテクのマリンサイト 半導体故障解析装置などの工場新設、韓国での開発/製造体制を強化 Rapidusは新工場稼働間近、クエスト・グローバルとの協業でRUMSモデルが完成へ