半導体製造向け精密チラー、小型ながら冷却能力4.0kWの高出力 第4のコンピューティング時代に求められるのは先端ロジック・メモリチップだけではない 最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナーを開発中 2nm以降世代に向けた半導体プロジェクトが始動、かつての国プロとの違いとは