アライメントステージSAをアップデートした新製品を発売：FAニュース
日本トムソンは、アライメントステージSAの200サイズをアップデートした「アライメントステージSA200DE」を発売した。X軸を標準設定として追加し、θ軸をトルクアップしている。
日本トムソンは2022年8月1日、アライメントステージSAの200サイズをアップデートした「アライメントステージSA200DE」を発売した。X軸を標準設定として追加し、θ軸をトルクアップしている。
アライメントステージSA200DEは、低断面でコンパクトなXYθ運動ができる。直動案内部に小形直動案内機器のIKOリニアウェイ、回転案内部にIKOクロスローラーベアリングを使用。駆動部にはダイレクトドライブ方式を採用している。
標準設定として、直線位置決め用のXテーブル「SA200DE/X」を追加。回転位置決め用の「SA200DE/S」と組み合わせて、XYθ軸の3方向に可動するコンパクトなアライメントステージを容易に構築できる。
コアレスリニアモーター、IKOリニアウェイL、IKOクロスローラーベアリングを採用しており、断面の高さがボールねじ駆動のステージと比べ、極めて低くなっている。また、θ軸（SA200DE/S）のモーター設計を見直してトルクをアップ。従来品より省電力化し、タクトタイムも短縮する。
ラインアップは、「SA200DE/1X」「SA200DE/5X」「SA200DE/S」の3種。最大推力、最大トルクはSA200DE/1XとSA200DE/5Xが400N、SA200DE/Sが8.0N・m、定格推力、定格トルクはSA200DE/1XとSA200DE/5Xが70N、SA200DE/Sが2.0N・m。最大可搬質量はSA200DE/1XとSA200DE/5Xが30.0kg、SA200DE/Sが21.2kgとなっている。
専用ドライバとして、「ADVA」と「MR-J4」の2シリーズを用意する。システム構成は、使用ドライバによって異なる。ADVAには、パルス列仕様と高速ネットワークEtherCAT仕様があり、MR-J4は、高速ネットワークSSCNET III/H仕様のみとなる。
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