ニコンエンジニアリング、LEDなどの量産に適した縮小投影露光装置を開発：FAニュース

露光波長i-h線に対応した投影レンズと照明光学系を搭載したもので、LEDやMEMS、パワー半導体などの量産に適するという。

[MONOist]

　ニコンエンジニアリングは2014年12月1日、縮小投影露光装置「ミニステッパー NES1W-ih06/i06、NES2W-ih06/i06」の受注を開始すると発表した。露光波長i-h線に対応した投影レンズと照明光学系を搭載したもので、LEDやMEMS、パワー半導体などの量産に適しているという。

　今回開発された装置は、i線からh線までのブロードな波長領域の光を取り込むことで、照度が大幅に向上した。高いドーズ量が必要なプロセスにおいて、生産性を向上できる。

　また、新開発の投影レンズは、従来製品と同等の露光範囲22mm×22mmを確保しつつ、NAを0.11から0.13に拡大した。これにより、LED・MEMS・パワー半導体などの量産に必要な深い焦点深度と高解像度を両立させた。

　フットプリントは、150mmウエハー対応のNES1Wは約2.2m²、200mmのNES2Wは3.3m²で、世界最小レベルになるという。SEMI・CEマークなどの海外安全認証にも標準対応した。

　標準仕様の価格（税抜き）は、NES1W-ih06/i06が1億6800万円から、NES2W-ih06/i06が1億9800万円から。オプションとして、高精度な裏面アライメント機構、オートレチクルスライダ、デュアルエリアレチクル、照明系σ可変ユニットなどもある。

縮小投影露光装置「ミニステッパーNES2W-ih06」

FAメルマガ 登録募集中！

MONOist FAフォーラムのメールマガジンの配信を2014年7月よりスタートしました。FAニュースをはじめ、産業用ロボット、インダストリー4.0、PLCや産業用ネットワーク、制御システムセキュリティなど注目の話題をまとめてお届けしています。

ぜひ、メルマガ配信のご登録をお願い致します。