オプトサイエンス、独ATLレーザーテクニックの産業用空冷エキシマレーザを発売：FAニュース

高安定性、高信頼性、長寿命、優れたメンテナンス性を実現。自動ガス交換機能あり。

[MONOist]

　オプトサイエンスは、独ATLレーザーテクニック製の「ATLEX-I シリーズ」の取り扱いを開始した。オールソリッドステートスイッチ、コロナ予備電離（OPEC）、メタル-セラミックチューブの採用により、高安定性、高信頼性、長寿命、優れたメンテナンス性を実現した産業用空冷エキシマレーザだ。

　サイラトロンを使用しない固体スイッチ回路オールソリッドステートスイッチを採用したことで、従来必要だったサイラトロン交換を不要にした。また真空ポンプ＋4バルブシステム、ハロゲンガスフィルタを内蔵しており、レーザ制御ユニットが自動でガス交換を行う（プリミックガス、Heパージガスのバルブ操作などはユーザー自身が行う必要がある）。High Voltage（電圧安定化モード）、Energy（パルスエネルギー安定化モード）、ESP（部分ガス自動交換 エネルギー安定化モード）の3種の安定化モードを備えている。

　レーザ波長は、F2（157nm）、ArF（193nm）、KrF（248nm）、XeCl（308nm）、XeF（351nm）で、パルスエネルギーは1〜15mJ、平均パワーは0.2〜10W。主な用途は、レーザ微細加工、レーザ分光、医療、FBG製作など。

「ATLEX-I シリーズ」